所属院系 微米纳米加工技术国家级重点实验室 所属实验室 微米纳米加工技术全国重点实验室 仪器型号 YES-3 10TA
负责人 姜博岩 购置日期 20170407
生产厂家 YES 生产国家 美国 经费来源 建设世界一流大学项目
可供机时 面议 放置地点 微纳电子大厦一层超净间 联系电话 13910916515
功能特色 HMDS烘箱是通过多次预抽真空,150℃氮气加热,既能达到使硅片表面干燥、洁净的效果,并且可以通过加液系统在硅片表面开成HDMS保护膜,从而使硅片具有良好的涂胶性能。
规格及技术指标 工艺温度≥150℃; 温度一致性:±5℃