所属院系 | 微米纳米加工技术国家级重点实验室 | 所属实验室 | 微米纳米加工技术全国重点实验室 | 仪器型号 | YES-3 10TA | ||||
负责人 | 姜博岩 | 购置日期 | 20170407 | ||||||
生产厂家 | YES | 生产国家 | 美国 | 经费来源 | 建设世界一流大学项目 | ||||
可供机时 | 面议 | 放置地点 | 微纳电子大厦一层超净间 | 联系电话 | 13910916515 | ||||
功能特色 | HMDS烘箱是通过多次预抽真空,150℃氮气加热,既能达到使硅片表面干燥、洁净的效果,并且可以通过加液系统在硅片表面开成HDMS保护膜,从而使硅片具有良好的涂胶性能。 | ||||||||
规格及技术指标 | 工艺温度≥150℃; 温度一致性:±5℃ |