所属院系 |
物理学院 |
所属实验室 |
人工微结构与介观物理国家重点实验室 |
仪器型号 |
Universal(1900/750) |
负责人 |
赵清 |
购置日期 |
20171207 |
生产厂家 |
上海米开罗那机电技术有限公司 |
生产国家 |
中国 |
经费来源 |
科研专款或基金 |
可供机时 |
面议 |
放置地点 |
物理大楼北222 |
联系电话 |
13811336577 |
功能特色 |
手套箱镀膜机联动系统,保证了镀膜过程的前后样品不见空气(处在氮气氛围保护) |
规格及技术指标 |
定制手套箱
1定制箱体尺寸:长×宽×高≥1900×750×900mm,与之前的设备完成无缝对接不泄露。要求箱体及手套耐酸、耐碱、耐有机等腐蚀。
2维修门:手套箱后方一侧开400×400mm维修门。
3泄漏率:<0.001vol%/h(需要有泄漏率报告)。
4循环系统:以高纯氮气为工作气体,循环能力要≥90m3/h,并加装变频。
5气体净化系统:要求水<1ppm,氧<1ppm,且净化柱具有可由程控实现的自动再生功能。
6控制系统:要求具有自适应、自诊断、自保护等系统特性,可以实现对箱体、过渡舱的压力控制,并且箱体工作压力在+/- 10mbar内可自由设定,超出+/- 12mbar系统自动保护。
7水分析仪探头:要求测量范围在0~500ppm,精度达0.1ppm,并且可以通过再生程序恢复初始状态,并且可重复使用,避免一次污染即报废的问题。
8氧分析仪探头:要求测量范围0~1000ppm,精度达0.2ppm。
9可再生有机溶剂吸附器:除常规水氧净化系统外,还需系统有一套有机溶剂吸附器串联在循环管道中,以达到对常规有机溶剂的吸附作用,并且可通过再生操作恢复其活性,循环使用。
10空调系统:手套箱顶侧需安装一台空调,实现对手套箱内环境温度的控制,要求温度<30℃,以实现太阳光模拟器稳定的工作环境。
11电源接口:220V电源接口一个。
12备用接口:若干,并在将来免费提供制造穿孔盲板(针对一些需要外接线缆及管道)的服务。
13手套箱需要通过CE认证、UL、ISO9001认证。
热蒸发镀膜机(集成于手套箱)
1腔室尺寸:建议大小360×360×H360mm;前后开门,要求置于手套箱内使用,并与手套箱无缝对接不泄露。
2真空极限:优于8.0×10-5Pa。
3抽速:机械泵抽速>9L/s,分子泵抽速>600L/s,从大气抽至5.0×10-4Pa≤6min。
4蒸发源:2组,同时预留2组,方便日后升级,蒸发电源2KW两台,可实现双源共蒸,并具有过载保护措施,配独立挡板。
5晶振膜厚控制仪:要求控制精度0.1?/s。
6基片台:可拆卸,具有升降旋转加热掩膜等功能,磁流体密封旋转,配备气动挡板,装载基片尺寸100×100mm;基片台实现室温~300℃加热,PID 智能温控。
7循环水机:给分子泵、蒸发电极等提供稳定的制冷循环水,保证设备稳定运行,温度控制范围10~25℃。
8控制系统:采用PLC+触摸屏控制,控制内容包括对电源、机械泵、分子泵、阀的启、停,电源功率调节等,并且具有对缺水、过流、断路等异常情况的自动报警与保护措施。 |
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